】 Uvođenje proizvoda
MATERIJALNA SVOJSTVA
Parametar | svojstvo | ASTM metoda kontrole |
Vrsta / primjesa | P, bor N, fosfor N, antimon N, arsen | F42 |
usmjerenja | <100>, <111> odrezati orijentacije prema specifikacijama kupca111>100> | F26 |
Sadržaj kisika | 10 19 ppmA Prilagođena odstupanja po specifikaciji kupca | F121 |
Sadržaj ugljika | <0,6>0,6> | F123 |
Opsezi otpornosti - P, bor - N, fosfor - N, antimon - N, arsen | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
MEHANIČKA SVOJSTVA
Parametar | glavni | Monitor / Test A | Test | Metoda ASTM |
Promjer | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,5 mm | F613 |
Debljina | 675 ± 20 µm (standardno) | 675 ± 25 µm (standardno) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 675 ± 50 µm (standardno) | F533 |
TTV | <5>5> | <10>10> | <15>15> | F657 |
Nakloniti se | <30>30> | <30>30> | <50>50> | F657 |
Zamotajte | <30>30> | <30>30> | <50>50> | F657 |
Zaokruživanje rubova | POLU-STD | F928 | ||
Obilježava | Samo SEMI-Stan, SEMI-STD Stanovi Jeida Stan, usjek | F26, F671 | ||
KVALITETA POVRŠINE
Parametar | glavni | Monitor / Test A | Test | Metoda ASTM |
Kriteriji prednje strane | ||||
Stanje površine | Kemijski mehanički polirani | Kemijski mehanički polirani | Kemijski mehanički polirani | F523 |
Površinska hrapavost | <2 a="">2> | <2 a="">2> | <2 a="">2> | |
Kontaminacija, čestice> 0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Maglica, jame, kora od naranče | nijedan | nijedan | nijedan | F523 |
Vidjeli su oznake, tragovi | nijedan | nijedan | nijedan | F523 |
Kriteriji za stražnju stranu | ||||
Pukotine, pruge, tragovi pile, mrlje | nijedan | nijedan | nijedan | F523 |
Stanje površine | Kaustični urezan | F523 | ||
】 Opis proizvoda
Savršeno za mikrofluidne aplikacije. Za mikroelektroniku ili MEMS aplikacije, molimo kontaktirajte nas za detaljne specifikacije.
Poluvodički uređaji i dalje se smanjuju, a sve je važnije da vafli imaju visoku površinsku kvalitetu i na prednjoj i na stražnjoj strani. Trenutno su ove pločice najčešće u mikroelektromehaničkim sustavima (MEMS), spajanju vafla, izradi silikona na izolatoru (SOI) i primjenama sa zahtjevima ravnomjernosti. Mikroelektronika prepoznaje evoluciju poluvodičke industrije i predana je pronalaženju dugoročnih rješenja za sve zahtjeve kupaca.
Velika zaliha dvostruko poliranih vafla u svim promjerima pločica u rasponu od 100mm do 300mm. Ako vaša specifikacija nije dostupna u našem inventaru, uspostavili smo dugoročne odnose s brojnim dobavljačima koji su sposobni za izradu vafla po mjeri kako bi odgovarali svim jedinstvenim specifikacijama. Dvostrano polirane vafle dostupne su u siliciju, staklu i drugim materijalima koji se obično koriste u industriji poluvodiča.
Prilagođeno kockanje i poliranje je također dostupno prema vašim zahtjevima. Slobodno nas kontaktirajte.
】 Značajke proizvoda
· 6 "P / N tip, polirana silikonska obloga (25 kom)
· Orijentacija: 150
· Otpornost: 0,1 - 40 ohm · cm (može varirati od serije do serije)
· Debljina: 675 +/- 20m
· Prime / Monitor / Test Grade
Popularni tagovi: 6 inča (150 mm) napolitanke, Kina, dobavljači, proizvođači, tvornica, izrađena u Kini







